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更新时间 2016-2-4 10:17:24 点击次数 507 次 返 回
 

客户1问:就平面度测量而言,那种原理仪器更好?

回答:点激光和面激光测量都可以实现平面度测量,但相对来说,面光源测量精度要高于点光源。而且后者速度也更快。

客户2问:市场上有四五种平面度测量仪器用于测蓝宝石或者玻璃WAFER,各系统间数据如何取得一致?

回答:由于平面度测量属于相对测量,数据相互匹配是可以实现的。尤其是WARPBOW值,由于不受外界影响,更易实现匹配。但是TTV/GBIR参数由于影响因素多,完全匹配不易做到。

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